质量流量控制器是现代电子设备工艺气体流量控制的*的控制单元。质量流量控制器的原理和应用质量流量控制器用于对各种气体的质量流量进行精密测量和控制，大量用于电子工艺设备（如扩散、氧化、外延、ＣＶＤ、等离子刻蚀、溅射等）以及镀膜设备、光导纤维制造中；并广泛用于石油化工、冶金、制药等行业。质量流量控制器通常由流量传感器、流量调节阀、放大控制器和分流器通道等组成。质量流量控制器的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源盒提供。

　　近十几年来,质量流量控制器在食品、饮料、化工、制药、石油、天然气等行业获得了广泛的应用。随着人们的关注，质量流量控制器的性能也在不断地发展。其大的优点是能够直接地测量质量流量，而其他的仪器只能测量体积流量。质量流量控制器的高精度、宽量程、重复性也是其在工业领域中获得广泛地应用和快速地发展的进一步原因。

　　质量流量控制器的驱动电路产生特定驱动脉冲让管子以一定的幅度振动。当流体的性质发生改变时，驱动电路必须能快速响应。比如当流体中混入气泡时，阻尼会迅速增加，这要求系统迅速提供更多的激励能量，以保证振荡幅度平稳。

　　激励频率要和系统的谐振频率一致，这要求驱动电路不仅能控制振荡幅度，还要能控制振荡频率。质量流量控制器的动态响应性能在一些应用如快速控制操作、周期流量波动、快速批灌是十分重要的因素。

　　传感器获得的是微弱的正弦信号，其在进一步的信息处理前需要进行放大。所用到的放大器要有很大的带宽以减小额外的零点误差。在质量流量控制器的相位差测量中。幅值比测量法和时间差的直接测量法，主要是依靠模拟电路来实现，可称为模拟式的。模拟电路的稳定性较差。易受环境温度等因素的影响，终影响到其计量精度。

　　质量流量控制器采用傅里叶变换算法，辅以锁相环技术，使用双通道高速高精度的A／D芯片对两路传感器信号同步采样后．以数字信号处理器DSP为运算核心，实时地计算出两路信号的相位差和频率，从而得到流体的质量流量和密度等信息，实现了从模拟式到数字式的转变。与传统的模拟式的相比，减少了模拟电路对相位差测量的影响。质量流量控制器采用傅里叶算法把信号从时域变换到频域进行频谱分析，可以对信号更加准确、有效、快速地分析与处理，有效地抑制了高次谐波和噪声的干扰，提高了相位差和频率的测量精度，进而提高了质量流量控制器的计量精度。