质量流量控制器,其原理如下:
“在直径较细的感应管中放置两对加热器,并将其控制在同一温度。当流体流动时,气体将上游的部分热量带给下游,而下游的加热器从上方获取热量温度上升。这时,利用上下加热器之间产生的温度差和流体的质量流量成比例的原理,来测定流量。”(附:qm=KCpA△T Cp定压比热容 A测量管绕组(即加热系统)与周围环境热交换系统之间的热传导系数; K -------仪表常数)
想像一下……放置两台电热器,用一条线将两台电热器连接起来,自己坐在线的中点处交叉的直角线上,很暖和。两台电热器发散同样的热量,你坐在离两台电热器同等距离的正中间位置,接受双方的热量,是温度高的地方。在这个炎热的季节,说这样的话,真是热得无法忍受啊…… 这时,在侧面加一个电风扇,离电风扇近的一方发散出来的热,被吹到远一点的电热器,你坐的地方也会觉得稍微凉一些。风扇吹得越快就越凉快。 这和热式感应管中的道理一样,风扇的强度(风量)=气体的流量。反过来,要想检测流量的话,可以说“测量一下气体流过的时候两台电热器之间移动的热量即可”
1. 锅炉、裂解炉用燃料气质量流量测量控制;
2. 石油化工、采油、火炬气质量流量测量;
3. 燃烧炉用空气质量流量测量控制;燃汽轮机氢气质量流量和控制;
4. 食品加工及饮料气体质量流量和控制;
5. 水厂cl2质量流量控制;
6. 生产半导体时高纯度气体质量流量测量;
7. 催化剂、化学添加剂质量流量测量;
8. 泵的保护控制、泵密封、润滑油池泄漏检测;
9. 空调系统控制;
10. 仪表用空气、工艺空气、氮气等质量流量测量。
11. 气体分析仪,大气采样器
12. 泄露监测
13. 气体分配系统
14. 实验室气体测量
15. 医学应用
16. 燃料电池
17. 应用气体:Air, O2, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8, N2O, SF6, C3H6, CO, C4H10, 等绝大多数气体。
实际使用中发现,当输入的气体不同时控制显示的数值与实际不符,其实原因很简单,因为在MFC行业中,有一种参数叫CF,即气体转换系数(下面简称CF)。而MFC行业中又把N2(氮气)定义为标准气体M。N2的C值为1.00,其他的气体以氮气为中心,分布在0.1到1.4左右。
CF大于1.00的代表气体是单原子气体He(氦)、Ar(氩)、Kr(氪)、Xe(氙)。和N2相近的气体有02(氧气)、H2(氢气)、F2(氟)等。0.5以下的有SF6、WF6、SiCl4等。如果是几种气体的混合在一起的话,简单的分析其比率,用各自的CF值计算即可。
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