国产质量流量控制器是准确测量气体流量的仪器。由于温度或压力的波动,测量值不会错位。不需要温度和压力补偿。即使系统压力波动或环境温度发生变化,也可以根据需要进行流量设定,自动将流量恒定在设定值。它不会导致它偏离设定值。
国产质量流量控制器可以准确控制给定量的气体,用于不同气体的比例控制,用于许多过程的流量控制。直接测量气体的质量流量,输出质量流量信号,无需其他设备。
可以准确测量小流量,使用分流装置,测量大流量,温度和压力范围大。准确度高,重复性好,产品精度高达+-1%FS(满量程)重复性为+-0.25%FS(满量程)
质量流量计是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。
用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。
使用质量流量计应注意哪些问题?
1、根据介质、流量及工作场地的不同,选择合适的流量计型式;
2、根据不同型式的超声波流量计以合理的方式安装换能器;
3、定期维护,经常检查流量计工作状态、显示器的连接;
4、定期校准流量计。