气体质量流量计采用两只经过严格筛选，各项参数匹配一致并带有保护套管的铂热电阻（RTD）作为基本测量原件，RTD探杆采用全焊接方式连接，加工精细焊接不会有气孔和虚焊等现象，同时可真正做到防止堵塞，牢固耐用。

　　判断气体质量流量计优劣，实流标定技术是极为重要的，因为气体质量流量计测量的气体介质的热导性都不同，每一种气体介质的比热容在不同温度和压力的数值是不一样的。单纯依靠常压或者负压空气标定，然后修正的方式来测量流量值是不准确的。实事证明没有实流标定的流量计测量非空气介质，数据偏差很大。目前市场上气体质量流量计大都采用负压空气标定，然后修正到高压力工况，或者修正到其他气体，比如甲烷（天然气）、氢气、氦气、氩气等等。修正标定必然导致测量精度不能保证，空气介质标定后的表应用在其他气体介质，测量精度也无法保证。

　　气体质量流量计能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，气体质量流量计器就是一个稳流装置，是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。

　　气体质量流量计由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。气体质量流量计采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。

　　气体质量流量计一种电磁驱动的机械振动型的流量测量仪表，构成该流量计测量管的材料会受到工艺介质压力和温度的影响。而安装在管道中的流量测量管(也称流量振动管)又会受到工厂管线的机械振动、机械应力、机械扭力等对测量的影响。另外气体质量流量计本身表现出的误差特性则呈现“喇叭筒”，而并非以不同的流量呈现一条平的直线。鉴于以上原因，提高气体质量流量计实用准确度的措施为：

　　1)针对气体质量流量计的实际工艺参数，对该流量计进行“个性化标准”，从而实现在实际使用流量点的一定范围内，该气体质量流量计的实际测量误差(与标准值的差)趋于零;

　　2)把好气体质量流量计的安装环节，减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响;

　　3)考虑工艺压力、温度等对气体质量流量计测量准确度的影响;

　　4)把好气体质量流量计的投用关。