国产质量流量控制器的耐压主要分为:10Bar、50Bar和100Bar。10Bar的流量控制器主要为差压式(也称节流式)流量计是基于流体流动的节流原理,利用流体流经节流装置时产生的压力差而实现流量测量的。在选型热式气体质量流量控制器和流量计的时候,用户常问关于压力数值的问题。
国产质量流量控制器耐压100bar(产品在50MPa压力下通过打压测试),可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。Z大流量可测到100SLPM,质量流量控制器的流量可测到100SLPM。
国产质量流量控制器可以测量和控制各种气体的质量流量和标况流量,产品的主要优点为无需温压补偿,测量的准确度高,响应速度快。那压力数值对MFC又有什么影响呢?50Bar和100Bar的流量控制器主要为热式流量计,热式流量计采用热扩散原理,热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。热式流量计有两个温度传感器被置于介质中时,其中一个传感器被加热到环境温度以上的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。
耐压是指热式气体质量流量控制器能承受的最大压力值是多少,简而言之是指在多大压力范围之内使用不会损坏产品。工作压差是指在使用时,流量控制器的进气端和出气端的压力两两相减的数值差。
流量控制器在使用时,根据流量的大小,需要保证的工作压差范围为:1-7Bar之间。本公司流量控制器出厂时,一般按照默认工作压差标定,如有特殊要求,可在订货时特殊说明即可。热式气体质量流量计对工作压差没有特殊要求,用户只需要在流量计能承受的最大耐压范围内即可正常使用。