高压质量流量控制器是准确测量气体流量的仪器。由于温度或压力的波动，测量值不会错位。不需要温度和压力补偿。即使系统压力波动或环境温度发生变化，也可以根据需要进行流量设定，自动将流量恒定在设定值。它不会导致它偏离设定值。

 

　　高压质量流量控制器可以准确控制给定量的气体，用于不同气体的比例控制，用于许多过程的流量控制。直接测量气体的质量流量，输出质量流量信号，无需其他设备。

 

　　可以准确测量小流量，使用分流装置，测量大流量，温度和压力范围大。准确度高，重复性好，产品精度高达±1％FS（满量程）重复性为±0.25％FS（满量程）气流控制器体积小，安装方便，操作简单。

 

　　质量流量控制器不仅能检测总流量，并且能在检测时自动控制总流量。能根据本身的所需设置总流量。一般来说，这种质量流量计仅用作流量测量或监测。该流量控制器采用毛细管传热温差热法原理检测气体质量流量（无气温和负担应对）。传感器受热桥测得的总流量讯号送至放大器调大。

 

　　检查出现偏差方法：

 

　　1、零点是否有漂移，首先需接通电源，质量流量控制器信号为0的情况下，则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号；

 

　　2、气体是否纯净，如果盘路有污染，那么流量就肯定会收到影响，这个时候可以用高纯N2多次清扫，如果还是不能解决则需要找专业维修点接受A/S；

 

　　3、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力，如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。