微小流量质量流量计可测量空气/氧气/氮气/氩气/二氧化碳气等清洁气体的流量，微小流量质量流量计主要应用于半导体、电子、化工、医药、食品等产品制造过程中气体流量的检测及控制，医院氧气消耗量计量、实验室气体流量的检测等，微小流量质量流量计口径小至1mm，螺纹连接。

　　微小流量质量流量计采用热质量气体流量传感芯片，属于质量流量传感方式的微小流量计，微小流量质量流量计是通过气体流动产生的热场变化来测量气体流量，由于不同质量的气体对热场的变化具有不同的影响，所以微小流量质量流量计所测的数据为质量流量。

　　微小流量质量流量计不同于传统的“热传感器”方式采用了多个热传感器和多个热源来测量气体的质量流量（风速式热质量流量原理），微小流量质量流量计采用了多个热传感器和一个微热源（量热式热质量流量原理），大大减少了环境对测量的影响。微小气体质量流量计的热源十分微小，几乎不需要时间进行加热。传感器插入在相对大的流场中，在无气体流动时，传感器的热源对环境无影响，不会因此引起气体对流而导致零点变化。所以，微小流量质量流量计具有极短的响应时间和优良的零点稳定性。

　　微小流量质量流量计主要特点：

　　1、微小流量质量流量计采用微机电系统芯片作为传感器，微小流量质量流量计的灵敏度*同时具有良好的零点稳定性；

　　2、单个芯片上实现多传感器集成，使该微小流量计的量程比大于100：1；

　　3、和传统的机械式流量计比较，压力损失大幅减小，极大的降低了能源消耗；

　　4、微小流量质量流量计采用LCD显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便；

　　5、微小流量计带有RS-485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理；

　　6、可以选配4-20mA DC电流信号输出；

　　7、通过国家专业认证，标志为ExiaIICT4。

　　微小流量质量流量计专门为需要显示器和表体分离的应用需求而设计的，例如医院供氧系统小型空分系统，微小流量质量流量计的标准工业用户界面(RS485/4~20mA)及用户自定报警功能更好实现的异地或网络监控，HLB系列现有的产品是HLB-12和HLB-19可分别测量0-300SLPM和0-800SLPM气体流量。微小流量质量流量计是孔板流量计理想的替代产品.微小流量质量流量计是基于卡门涡街原理而研制成功的一种具有先进水平的新型流量计，由于微小流量质量流量计具有其它流量计不可兼得的优点，自七十年代以来得到了迅速发展，据有关资料显示，现在日本、欧美等发达国家使用涡街流量计的比例大幅度上升，微小流量质量流量计已广泛应用于各个领域，微小流量质量流量计将在未来流量仪表中占主导地位.

　　微小流量质量流量计适用测量过热蒸汽、饱和蒸汽、压缩空气和一般气体、水和液体的质量流量和体积流量.

　　微小流量质量流量计是采用成熟可靠的感应压电传感器技术，其根据工况特性需求可以将流速、流量（或将工况温度、压力检测优化一体），充分体现了当今机电一体化产品的高科技性及其性价比。该仪表系统数据处理采用Microchip的MCU技术并结合现代微电子工艺研制开发一种高可靠、准确度高的工业流量测控仪表。微小流量质量流量计广泛应用于封闭管道中蒸汽、气体和液体介质流量的计量。

　　微小流量质量流量计是根据卡门（Karman）涡街原理测量气体、蒸汽或液体的体积流量、标况的体积流量或质量流量的体积流量计。在流体中设置三角柱型旋涡发生体，则从旋涡发生体两侧交替地产生有规则的旋涡，这种旋涡称为卡门旋涡，旋涡列在旋涡发生体下游非对称地排列。为了微小流量质量流量计使用方便，电池供电的本地显示型微小流量质量流量计采用微功耗高新技术，微小流量质量流量计采用锂电池供电可不间断运行一年以上，节省了电缆和显示仪表的采购安装费用，可就地显示瞬时流量、累积流量等。温度补偿一体型微小流量质量流量计还带有温度传感器，可以直接测量出饱和蒸汽的温度并计算出压力，从而显示饱和蒸汽的质量流量。温压补偿一体型带有温度、压力传感器，用于气体流量测量可直接测量出气体介质的温度和压力，从而显示气体的标况体积流量。