型号

质量流量计

质量流量控制器

流量范围(N2)

  10SCCM~1000SLPM

  10SCCM ~ 300slpm

  响应时间

  <2 sec

  <2 sec

度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重复精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  输入/输出信号

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供电电源

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

  ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA

 耐压

  <90bar

  0-30SLPM，<90bar;30-100SLPM,<70bar,

100-300SLPM,<15bar

工作环境温度

  0~50 °C

  0~50 °C

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

使用范围

  2 ~ 100%

  2~ 100%