美国BROOKS布鲁克斯公司热式质量流量计是为了满足有关工艺过程中对测量精度、重复性和控制方面的要求而设计的产品。它与传统的体积流量仪器截然不同，brooks气体质量流量控制器通过被测气体的比热来测量流量，不受温度、压力变化的影响。因此该产品在各种不同的工作环境下均有较高的精度。被测流量可设计成质量或体积单位。此外，所有BROOKS INSTRUMENT质量流量计产品都能同现有的工业仪表兼容。

一、brooks气体质量流量控制器概览

Brooks的数字与模拟热式质量流量控制器具有业界*的性能—我们的许多产品都已连续工作了20年以上。我们的新型热式质量流量设备在响应时间、精度、可重复性、调节比及自诊断方面均具有显著的优势。

我们的热式质量流量产品还通过了多种防护（IP）认证，适用于多种危险场所。

二、brooks气体质量流量控制器产品特点

• 较低的泄漏率
• 结构紧凑
• 内螺纹排气口抛光处理
• 常闭阀
• 对安装位置不敏感

三、brooks气体质量流量控制器技术参数

• 数字信号/模拟信号输出,可通过电脑直接显示控制,可配单/四/八通道显示控制器
• 介质:可选H2,O2等非腐蚀性气体或SiO2,SO2等腐蚀性气体
• 流量范围:0.03-30slpm
• 量程比：50:1
• 大工作压力: 1500psi(10.432Mpa)
• 气路接头: 1/4"VCR或1/4"SWG
• 电气接头:15 Pins D-Type或Card-edge
• 精度:±1%FS
• 重复性：0.25% of rate
• 响应时间：1-3s
• 差压要求：3-6bar（压差要求与介质、量程有关）
• 操作温度范围：5~65℃
• 输出信号：0-5VDC或4-20mA
• 电源：+/-15V

?四、brooks气体质量流量控制器其他系列产品

• SLA5800S---数字型气体质量流量计/控制器
• SLA5800 enhanced series
• 4800 series
• 5800S series
• 5851EM