ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器采用全316L不锈钢结构及密封的316L不锈钢传感器，可根据不同应用需求选择相应的弹性密封材料， 如：FFKM、EPDM、Viton及Buna-n等。Alicat的层流压差技术能以 惊人的速度测量气体质量流量，且具备一系列标准性能，如：200：1量程可调比、内置30种气体可选、多功能数字显示屏及有条件的终身质保等。

一、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器产品优势

操作简单

Alicat 质量流量计&质量流量控制器操作极其简单，用户可通过多功能数字显示屏调节参数，无需连接电脑或其它任何复杂的编程软件。

精确控制

Alicat 标准型质量流量计&质量流量控制器的精度为±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，几乎所有型号通过增加高精选配项可达±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。

高性价比

Alicat 质量流量计&质量流量控制器本身耗电极小，从而降低了系统运营的成本，且相比于同类产品，其压损较低，降低压损意味着更多气体进入到系统中，而不是停留在测量&控制设备中。除质量流量外，Alicat 质量流量计&质量流量控制器还可同时测量体积流量、压力和温度，您无需另外采购和安装其它设备。使用累加器(TOT)功能可显示流经气体总量，是监控整个应用过程及减少气体浪费的有效的方法。MCS系列的模块化设计使其成为真空应用的佳选择。

性能

MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器可测量与控制从0.5SCCM到3000SLPM的满量程的任何流量，除了RS-232数字信号输出，还配有多种模拟信号输出。MS系列质量流量计亦有便携式型号(MBS系列)，采用一块普通9伏电池供电，即成为一款适用于腐蚀性气体的二等标准流量校准设备。

反应灵敏

与相应标准型M/MC系列相同，MS/MCS系列质量流量计&质量流量控制器(防腐蚀型)其测量响应小于10毫秒、控制响应为100毫秒。

高重复性

Alicat 的技术使得质量流量计&质量流量控制器几乎没有可移动部件，所有零件都被内置固定，腔体内不存在物理变化，从而具有较高的*性和重复性。所有Alicat 质量流量计&质量流量控制器的重复性可达±0.2% F.S。

值得信赖

现有超过90000台Alicat设备正被使用在不同领域中，质量流量控制器主要应用于医药、半导体、燃料电池、如：科学研究、泄漏测试、环境监测、 真空镀膜、半导体、汽车制造、光伏、燃料电池、光纤制造、计量以及过程工艺气体测量&控制等。所有Alicat 设备均具有NIST可溯源校准证书。

二、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器标准性能

• 多功能数字显示屏
• 显示多种测量参数：质量流量、体积流量、温度和压力
• 低压损
• 无需预热
• 316L不锈钢本体&传感器
• FFKM、Viton、Buna或EPDM密封材料可选
• 可调节PID算法 (仅用于质量流量控制器)
• 内置130种常用气体可选 ，开放COMPOSER? — 气体编辑器，允许用户自定义混合气体组分
• 200:1 量程可调比

三、ALICAT耐腐蚀气体质量流量控制器性能参数