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Alicat气体质量流量控制器
简要描述:

Alicat气体质量流量控制器主要应用于需要有截止功能应用的场合,如真空镀膜及磁控溅射工艺,这个阀是常闭阀,拥有低的泄漏率。

更新时间:2024-12-05

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一、Alicat气体质量流量控制器产品特点

150毫秒内完成稳定的控制响应

精确、稳定的流量取决于控制响应速度,艾里卡特?质量流量控制器50毫秒内即可到达新的设定值。快速、可重复、稳定!

拥有可靠的稳定性及响应速度,艾里卡特?质量流量控制器总是一击击中,为快的质量流量控制器!采用艾里卡特?的层流压差流量测量技术与高速比例控制阀相结合,使得到达设定值的速度远远快过您眨一下眼。

2、操作便捷

?     50-100毫秒控制响应

?     允许用户自行调节PID以获得的速度和稳定性

?     定制化阀门孔径以保证满量程流量的稳定性

?     同一台设备控制质量流量、体积流量或压力

?     瞬间启动、无需预热:1秒内即可开始流量控制

二、Alicat气体质量流量控制器产品系列

MC 标准系列

控制响应快、稳定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特?R系列阀门为*的无摩擦阀门,可精密控制大流量的气体流量,特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW / MCRW 低压损系列

大限度减小压损对系统的影响,满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid);艾里卡特?Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力,是航空航天、环境气体分析等应用的选择;大量程:0-500 slpm。点击这里了解更多关于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。 点击这里了解更多关于耐腐蚀系列

MCE / MCV 半导体行业系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器,可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容,封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀 ,专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS大量程:0-20 slpm点击这里了解更多关于半导体行业系列

MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列

*双向质量流量控制器,可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。  点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列

三、Alicat气体质量流量控制器常用选配项

?     后置阀门,优化真空及背压应用的控制

?     批量控制模式,依靠快速的阀门响应来分配流量,包含在累加器(TOT)功能中

?     CSA认证12 / ATEX认证12区允许设备用于危险环境

?     9针或15D-Sub等连接接口可选

?     通讯模式有Modbus-RTURS-232RS-485PROFIBUS等可选

?     彩色背光显示屏适用于光线不足的场合

四、Alicat气体质量流量控制器性能参数

指标

质量流量控制器

量程

0.5SCCM1SCCM2SCCM5SCCM10SCCM50SCCM100SCCM....20SLPM

精度

±0.8%读数±0.2%满量程(可选高精度:±0.4%读数±0.2%满量程)

重复性

±0.2%

量程比

200:1

响应时间

100ms

标准状态(STP)

25&14.696PSIA 101.325kPa

温度范围

-1050

零点漂移

0.02

量程漂移

0.02

湿度范围

0-100%

测量流量范围

128%(过流率)

大耐压

145psi

输出信号(数字)

质量流量、体积流量、压力和温度

数字信号可选

RS485ModbusProfibus

输出信号(模拟)

质量流量、体积流量、压力和温度

模拟信号可选

0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC4-20mA

电气连接

8/9/15针(根据不同类型流量计而定)

供电电压

7-30VDC4-20mA输出时为:15-30VDC

供电电流

0.035A4-20mA输出时为:0.055A

 

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