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Hammer质量流量计
简要描述:

国产质量流量计耐压100bar(产品在50MPa压力下通过打压测试),可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。Z大流量可测到100SLPM,质量流量控制器的Z大流量可测到100SLPM。

更新时间:2024-10-16

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  免费咨询:86-10-87241391

  发邮件给我们:info@hammertech.com.cn

一、Hammer质量流量计产品特点

· 测量质量流量

· 无需温度和压力补偿

· 结构紧凑

· 精度高

· 工作压力高

· 响应时间快

· 重复性高

二、Hammer质量流量计产品简介

本体耐压100bar,可测量腐蚀性气体,结构紧凑,重复性高,响应时间快,性价比高,可广泛用于设备配套。气体大流量可测到100SLPM,质量流量控制器的大流量可测到100SLPM。

三、Hammer质量流量计技术参数

型号

质量流量计/质量流量控制器

流量范围(N2)

 10SCCM~100SLPM

响应时间

 <2 sec

精准度

≤±1% FS

重复精度

±0.2% FS

输入/输出信号

0~5 Vdc OR 4~20 mA

供电电源

±15 Vdc or 24 Vdc, 300mA

耐压

 <100bar

工作环境温度

 0~50 °C

漏率

 1*10E-9 atm cc/sec

使用范围

 2 ~ 100%



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