Hammer质量流量控制器

简要描述：

Hammer质量流量控制器控制量程低至0-0.5SCCM，采用层流差压原理，可本地显示温度，绝压，质量流量和体积流量，耐压1MPa，低压差条件下亦可使用。内置130种气体，大大节约用户成本。反应时间快。

更新时间：2024-06-28

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一、Hammer质量流量控制器系列

MC 标准系列

控制响应快、稳定的流量控制器。

MCR 大流量系列

精确控制大流量(50-3000 slpm)气体。艾里卡特®R系列阀门为无摩擦阀门，可精密控制大流量的气体流量，特殊的孔状模式允许我们根据您的应用需求量身定制阀门。

MCW / MCRW 低压损系列

大限度减小压损对系统的影响，满量程压损低仅为4mbar(0.06 psid)；艾里卡特®Whisper低压损系列质量流量控制器可控制接近大气压的压力，是航空航天、环境气体分析等应用的选择；大量程：0-500 slpm。点击这里了解更多关于Whisper系列

MCS / MCRS 耐腐蚀系列

所有量程均可采用适用于腐蚀性气体的316L不锈钢结构。点击这里了解更多关于耐腐蚀系列

MCE / MCV 半导体行业系列

可快速、简易地替换老化陈旧的热式流量控制器，可任意定制引脚功能使之与您的控制系统兼容，封闭式阀门设计更是符合半导体行业标准。MCV系列另增加了后置的气动截至阀，专门用于真空应用。可定制相应的防腐蚀系列MCES / MCVS。大量程：0-20 slpm. 点击这里了解更多关于半导体行业系列

MCD / MCRD 双向质量流量&压力控制器系列

*双向，可正向或反向控制气体流量。可定制低压损系列MCDW系列及防腐蚀型MCDS系列。点击这里了解更多关于双向质量流量&压力控制器系列

二、质量流量控制器常用选配项

? 后置阀门，优化真空及背压应用的控制

? 批量控制模式，依靠快速的阀门响应来分配流量，包含在累加器(TOT)功能中

? CSA认证1类2区 / ATEX认证1类2区允许设备用于危险环境

? 9针或15针D-Sub等连接接口可选

? 通讯模式有Modbus-RTU、RS-232、RS-485、PROFIBUS等可选

? 彩色背光显示屏适用于光线不足的场合

三、Hammer质量流量控制器性能参数

指标	MFC
量程	0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....20SLPM
精度	±0.8%读数±0.2%满量程（可选高精度：±0.4%读数±0.2%满量程）
重复性	±0.2%
量程比	200:1
响应时间	100ms
标准状态(STP)	25℃&14.696PSIA （101.325kPa）
温度范围	-10～50
零点漂移	0.02％
量程漂移	0.02％
湿度范围	0-100%
测量流量范围	128％（过流率）
大耐压	145psi
输出信号（数字）	质量流量、体积流量、压力和温度
数字信号可选	RS485，Modbus，Profibus
输出信号（模拟）	质量流量、体积流量、压力和温度
模拟信号可选	0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA
电气连接	8针/9针/15针（根据不同类型流量计而定）
供电电压	7-30VDC（4-20mA输出时为：15-30VDC）
供电电流	0.035A（4-20mA输出时为：0.055A）